一种磁控溅射用平面阴极

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120257996.6

申请日：

2011-07-21

公开(公告)号：

CN202307784U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

陈曦陆志豪

申请人：

申请人地址：

200092 上海市杨浦区赤峰路63号1号楼310室

IPC主分类号：

H01J3704

IPC分类号：

H01J3734

代理机构：

代理人：

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700785303 IPC(主分类):H01J 37/04 专利号:ZL2011202579966 专利申请号:2011202579966 收件人:陆志豪文件名称:专利权终止通知书
2012-07-04	授权	授权
2014-10-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101587406368 IPC(主分类):H01J 37/04 专利号:ZL2011202579966 申请日:20110721 授权公告日:20120704 终止日期:20130721
2013-11-20	文件的公告送达	文件的公告送达号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101673450832 IPC(主分类):H01J 37/04 专利号:ZL2011202579966 专利申请号:2011202579966 收件人:上海德化机电科技有限公司文件名称:缴费通知书

共 50 条

[1]

磁控溅射用平面阴极及磁控溅射装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223268739U ,2025-08-26

[2]

磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机 [P].

李国伟 ;

王剑涛 ;

陈发伟 ;

李兆廷 .

中国专利 :CN208733217U ,2019-04-12

[3]

一种磁控溅射平面阴极装置 [P].

谢斌 .

中国专利 :CN215163079U ,2021-12-14

[4]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN203462120U ,2014-03-05

[5]

一种磁控溅射镀膜用的平面阴极 [P].

郭爱云 ;

赵灿东 ;

周学卿 ;

黄定平 .

中国专利 :CN204959025U ,2016-01-13

[6]

一种磁控溅射平面阴极 [P].

王正安 .

中国专利 :CN208562507U ,2019-03-01

[7]

一种磁控溅射用阴极 [P].

陈曦 ;

陆志豪 .

中国专利 :CN202148349U ,2012-02-22

[8]

一种磁控溅射平面阴极装置 [P].

谢斌 .

中国专利 :CN113122814A ,2021-07-16

[9]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

陈长琦 ;

郭江涛 ;

王君 .

中国专利 :CN201162042Y ,2008-12-10

[10]

一种矩形平面磁控溅射阴极 [P].

彭寿 ;

葛承全 ;

张超群 ;

井治 ;

张仰平 ;

李险峰 .

中国专利 :CN103602953A ,2014-02-26

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