在PECVD镀膜工艺使用的新型硅烷气路结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520029483.8

申请日：

2015-01-16

公开(公告)号：

CN204417587U

公开(公告)日：

2015-06-24

发明(设计)人：

刘惠文

申请人：

申请人地址：

101102 北京市通州区马驹桥联东U谷南区4号楼

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20210918 变更事项:专利权人变更前权利人:北京通嘉宏盛科技有限公司变更后权利人:北京通嘉宏瑞科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:101102 北京市通州区北京市通州区马驹桥联东U谷南区4号楼变更后权利人:102199 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-A37
2015-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型PECVD的镀膜工艺 [P].

钱小芳 ;

杨冬生 ;

孙明晶 .

中国专利 :CN109722643A ,2019-05-07

[2]

PECVD镀膜装置的电极结构 [P].

吕旭东 ;

陈立国 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN203653694U ,2014-06-18

[3]

用于硅太阳能电池制造工段PECVD镀膜的气路系统 [P].

郝立辉 ;

郭爱军 .

中国专利 :CN203333759U ,2013-12-11

[4]

PECVD镀膜装置的电极结构 [P].

吕旭东 ;

陈立国 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN103741120A ,2014-04-23

[5]

用于改善PECVD镀膜均匀性的挡气板 [P].

静福印 ;

陈文浩 ;

刘仁中 ;

张斌 .

中国专利 :CN205241785U ,2016-05-18

[6]

一种工艺特气混气装置及使用其的PECVD设备 [P].

左国军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN220520621U ,2024-02-23

[7]

镀膜工艺室的结构 [P].

黄峰 .

中国专利 :CN201778101U ,2011-03-30

[8]

板式PECVD上下镀膜一体设备的石墨载板结构 [P].

李慧 ;

陈克 ;

徐建 ;

樊华 ;

彭彪 ;

俞超 ;

徐长坡 ;

徐强 .

中国专利 :CN206814841U ,2017-12-29

[9]

扩散炉的新型气路 [P].

赵建东 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203613307U ,2014-05-28

[10]

气路结构和应用该气路结构的呼吸机 [P].

范崇辉 ;

陈永辉 ;

廖致刚 ;

龚道明 .

中国专利 :CN208893401U ,2019-05-24

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