板式PECVD上下镀膜一体设备的石墨载板结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720514909.8

申请日：

2017-05-10

公开(公告)号：

CN206814841U

公开(公告)日：

2017-12-29

发明(设计)人：

李慧陈克徐建樊华彭彪俞超徐长坡徐强

申请人：

申请人地址：

214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司 32218

代理人：

刘畅;徐冬涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-29	授权	授权
2019-12-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/458 变更事项:专利权人变更前:东方环晟光伏（江苏）有限公司变更后:环晟光伏（江苏）有限公司变更事项:地址变更前:214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号变更后:214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

共 50 条

[1]

板式等离子体气相沉积上下镀膜一体设备的石墨载板结构 [P].

李慧 ;

陈克 ;

徐建 ;

樊华 ;

彭彪 ;

俞超 ;

徐长坡 ;

徐强 .

中国专利 :CN206820009U ,2017-12-29

[2]

六边形硅片镀膜设备的石墨载板结构 [P].

樊华 ;

吴俊清 ;

从海泉 ;

王万领 .

中国专利 :CN208308957U ,2019-01-01

[3]

适用于六面形硅片的紧凑型石墨载板结构 [P].

樊华 ;

吴俊清 ;

从海泉 ;

王万领 .

中国专利 :CN208637379U ,2019-03-22

[4]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

钱孟 ;

蒲天 ;

尹鸣 .

中国专利 :CN212476878U ,2021-02-05

[5]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN202717845U ,2013-02-06

[6]

一种板式TCO镀膜载板结构 [P].

任法渊 ;

黄金 ;

王继磊 ;

白炎辉 ;

鲍少娟 ;

冯乐 ;

杨骥 ;

杨文亮 ;

师海峰 ;

杜凯 ;

孟亚楚 .

中国专利 :CN112652679A ,2021-04-13

[7]

载板结构及镀膜设备 [P].

孟子博 ;

李宏伟 ;

霍亭亭 ;

侯承利 ;

王永恒 ;

郭丛 ;

殷志豪 ;

杨广涛 .

中国专利 :CN222434621U ,2025-02-07

[8]

载板结构及真空镀膜设备 [P].

林松涛 .

中国专利 :CN221522764U ,2024-08-13

[9]

一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备 [P].

杨龙 ;

陈森 ;

王晶 ;

刘德茂 ;

李广旭 ;

张凯 .

中国专利 :CN222313301U ,2025-01-07

[10]

石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备 [P].

李学文 ;

刘兵吉 ;

肖岳南 ;

王郴意 ;

魏壮 .

中国专利 :CN223134586U ,2025-07-22

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