板式等离子体气相沉积上下镀膜一体设备的石墨载板结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720515809.7

申请日：

2017-05-10

公开(公告)号：

CN206820009U

公开(公告)日：

2017-12-29

发明(设计)人：

李慧陈克徐建樊华彭彪俞超徐长坡徐强

申请人：

申请人地址：

214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司 32218

代理人：

刘畅;徐冬涛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-29	授权	授权
2019-12-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人变更前:东方环晟光伏（江苏）有限公司变更后:环晟光伏（江苏）有限公司变更事项:地址变更前:214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号变更后:214203 江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号

共 50 条

[1]

等离子体气相沉积镀膜设备 [P].

黄章华 .

中国专利 :CN216192696U ,2022-04-05

[2]

板式PECVD上下镀膜一体设备的石墨载板结构 [P].

李慧 ;

陈克 ;

徐建 ;

樊华 ;

彭彪 ;

俞超 ;

徐长坡 ;

徐强 .

中国专利 :CN206814841U ,2017-12-29

[3]

等离子体气相沉积设备 [P].

张斌 ;

李王俊 .

中国专利 :CN213680874U ,2021-07-13

[4]

等离子体气相沉积设备 [P].

刘祥 ;

周东平 ;

张晓 .

中国专利 :CN119640240B ,2025-05-13

[5]

等离子体气相沉积设备 [P].

刘祥 ;

周东平 ;

张晓 .

中国专利 :CN119640240A ,2025-03-18

[6]

等离子体气相沉积设备 [P].

王凤明 ;

李王俊 ;

陈晨 .

中国专利 :CN111705307A ,2020-09-25

[7]

等离子体气相沉积用工件固定治具及等离子体气相沉积设备 [P].

柏洋 ;

吴其涛 .

中国专利 :CN209555369U ,2019-10-29

[8]

等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统 [P].

杨普磊 ;

祖章旭 ;

赵成林 .

中国专利 :CN203284462U ,2013-11-13

[9]

一种等离子体气相沉积设备 [P].

袁园 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207243990U ,2018-04-17

[10]

等离子体气相沉积方法 [P].

聂佳相 ;

康芸 ;

杨瑞鹏 .

中国专利 :CN101736307A ,2010-06-16

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