制造半导体器件的方法和半导体器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010288219.1
申请日
2020-04-14
公开(公告)号
CN112670181A
公开(公告)日
2021-04-16
发明(设计)人
张筱君 沈冠杰
申请人
申请人地址
中国台湾新竹
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L29161 H01L2936 H01L2978
代理机构
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409
代理人
章社杲;李伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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