共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种硅片酸腐蚀系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922431190.3
申请日：
2019-12-30
公开(公告)号：
CN210897216U
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
王海君
杨波
王军
申请人：
申请人地址：
471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120
代理人：
陈佳丽
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:麦斯克电子材料有限公司 变更后:麦斯克电子材料股份有限公司 变更事项:地址 变更前:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 变更后:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号 |
| 2020-06-30 | 授权 | 授权 |