一种扩散硅片显结用酸腐蚀架具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420251518.8

申请日：

2014-05-16

公开(公告)号：

CN203882970U

公开(公告)日：

2014-10-15

发明(设计)人：

姚永红

申请人：

申请人地址：

226502 江苏省南通市如皋市如城镇中山西路82号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京汇信合知识产权代理有限公司 11335

代理人：

孙民兴

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20140516 授权公告日:20141015 终止日期:20190516
2014-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片酸腐蚀系统 [P].

王海君 ;

杨波 ;

王军 .

中国专利 :CN210897216U ,2020-06-30

[2]

一种硅片酸腐蚀用夹持转动工装 [P].

倪永明 ;

周峰 ;

季凯凯 ;

李琴 .

中国专利 :CN205376488U ,2016-07-06

[3]

一种适用于单晶硅片酸腐蚀的新型腐蚀架 [P].

姚剑龙 ;

杨颜礼 ;

满时君 .

中国专利 :CN222734954U ,2025-04-08

[4]

一种硅片扩散用载具 [P].

朱亚文 ;

初亚东 ;

刘宁 ;

纪大鹏 ;

张正 ;

马迁益 .

中国专利 :CN220324427U ,2024-01-09

[5]

一种硅片酸腐蚀系统及方法 [P].

王海君 ;

杨波 ;

王军 .

中国专利 :CN110931400A ,2020-03-27

[6]

一种半导体单晶硅片酸腐蚀驱动装置 [P].

李建刚 ;

王海君 ;

刘建锋 .

中国专利 :CN204857680U ,2015-12-09

[7]

一种用于硅片酸腐蚀的工艺方法 [P].

缪燃 .

中国专利 :CN121054480A ,2025-12-02

[8]

一种半导体硅片手动酸腐蚀装置 [P].

孙智武 ;

陈卫群 ;

寇文杰 .

中国专利 :CN203941888U ,2014-11-12

[9]

一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼 [P].

姚剑龙 ;

宋亚峰 ;

张燕 .

中国专利 :CN223038899U ,2025-06-27

[10]

一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机 [P].

姚剑龙 ;

田波峰 ;

董杨 .

中国专利 :CN222637230U ,2025-03-18

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