等离子体反应室用硅部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810083894.X

申请日：

2003-03-21

公开(公告)号：

CN101241845A

公开(公告)日：

2008-08-13

发明(设计)人：

任大星杰罗姆·S·休贝塞克尼古拉斯·E·韦伯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L213065 H01L2131 C23C1644 C23F400 H01J3732 H01H146

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

康建忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-13	公开	公开
2008-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-08-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101719330461 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:200810083894X 申请公布日:20080813

共 50 条

[1]

等离子体反应室用硅部件 [P].

任大星 ;

杰罗姆·S·休贝塞克 ;

尼古拉斯·E·韦伯 .

中国专利 :CN1653589A ,2005-08-10

[2]

等离子体反应室 [P].

梁忠棋 ;

张昭升 ;

黄木上 ;

彭顺煌 .

中国专利 :CN1266550C ,2005-01-26

[3]

等离子体反应室的可替换上室部件 [P].

丹尼尔·阿瑟·布朗 ;

杰夫·A·博加特 ;

伊恩·J·肯沃西 .

中国专利 :CN202855717U ,2013-04-03

[4]

抗等离子体腐蚀的反应室部件、其制造方法以及包含该部件的等离子体反应室 [P].

吴万俊 ;

倪国强 .

中国专利 :CN101577211B ,2009-11-11

[5]

等离子体反应室及具有其的等离子体装置 [P].

武小娟 .

中国专利 :CN103515179A ,2014-01-15

[6]

等离子体约束装置和等离子体加工设备 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101383278B ,2009-03-11

[7]

等离子体反应方法和等离子体反应装置 [P].

石川泰男 .

中国专利 :CN115380629A ,2022-11-22

[8]

更换等离子体反应室的电极组合的方法 [P].

J·利勒兰德 ;

J·S·哈巴塞克 ;

W·S·肯尼迪 ;

R·A·马拉斯钦 .

中国专利 :CN1574211A ,2005-02-02

[9]

用于等离子体反应腔室的电加热器、等离子体反应腔室 [P].

杜鹏程 ;

杨芹 ;

胡萍 ;

王桂滨 ;

马雷 .

中国专利 :CN120417139A ,2025-08-01

[10]

腔体内衬、等离子体反应腔室和等离子体设备 [P].

肖德志 ;

王建龙 .

中国专利 :CN110838429B ,2020-02-25

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