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等离子体反应室及具有其的等离子体装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210220530.8
申请日：
2012-06-29
公开(公告)号：
CN103515179A
公开(公告)日：
2014-01-15
发明(设计)人：
武小娟
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
宋合成
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-02-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101571929988 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2012102205308 申请日:20120629 |
| 2016-02-10 | 授权 | 授权 |
| 2014-01-15 | 公开 | 公开 |
| 2017-10-17 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |