用于集成电路制造设备的通用控制内核系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110120570.0

申请日：

2011-05-10

公开(公告)号：

CN102169436A

公开(公告)日：

2011-08-31

发明(设计)人：

徐华

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

G06F944

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

张大威

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-31	公开	公开
2011-10-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101120310272 IPC(主分类):G06F 9/44 专利申请号:2011101205700 申请日:20110510
2014-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

用于集成电路制造设备的标准化底层控制驱动系统 [P].

徐华 .

中国专利 :CN102185860A ,2011-09-14

[2]

一种集成电路制造设备 [P].

叶丽萍 .

中国专利 :CN112951742A ,2021-06-11

[3]

集成电路制造系统 [P].

林逸宏 ;

李志鸿 ;

卢昶伸 ;

李资良 ;

李启弘 .

中国专利 :CN113707598A ,2021-11-26

[4]

集成电路制造系统 [P].

林逸宏 ;

李志鸿 ;

卢昶伸 ;

李资良 ;

李启弘 .

中国专利 :CN113707598B ,2025-01-10

[5]

基于信号传输优化的集成电路制造设备 [P].

宋道远 ;

宋凌曦 ;

许浑 .

中国专利 :CN115318688A ,2022-11-11

[6]

一种集成电路制造装备通用控制系统 [P].

徐华 ;

高士云 ;

邓俊辉 ;

邹龙庆 ;

徐敏浩 ;

汤彩霞 .

中国专利 :CN102662362B ,2012-09-12

[7]

用于集成电路制造的对准系统 [P].

S·D·维德 ;

A·D·维德 .

中国专利 :CN1757094A ,2006-04-05

[8]

用于集成电路制造的物品、工艺、系统 [P].

Y.闵 ;

D.苏 .

中国专利 :CN104681521A ,2015-06-03

[9]

用于集成电路制造的烤箱 [P].

沈国平 .

中国专利 :CN102074457A ,2011-05-25

[10]

用于集成电路制造的方法 [P].

王宏钧 ;

张景旭 ;

张凤如 ;

吴俊宏 ;

吴秉杰 ;

刘文豪 ;

吴明轩 ;

林丰隆 ;

蔡振坤 ;

黄文俊 ;

刘如淦 .

中国专利 :CN105045946A ,2015-11-11

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