一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510563771.6

申请日：

2015-09-07

公开(公告)号：

CN105154831B

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

上官荣刚贾文斌王欣欣高昕伟

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	公开	公开
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642484961 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2015105637716 申请日:20150907
2016-10-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备 [P].

罗程远 .

中国专利 :CN206467283U ,2017-09-05

[2]

一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备 [P].

黄磊 ;

彭锐 ;

许凯 ;

叶志杰 ;

王欣欣 ;

贾文斌 ;

高昕伟 ;

魏钰 ;

窦义坤 .

中国专利 :CN205329148U ,2016-06-22

[3]

真空蒸镀设备及蒸发源装置 [P].

黄春泉 ;

周文炎 ;

邹以慧 ;

包立强 ;

丁度泽 .

中国专利 :CN208776823U ,2019-04-23

[4]

真空蒸镀设备及蒸发源装置 [P].

黄春泉 ;

周文炎 ;

邹以慧 ;

包立强 ;

丁度泽 .

中国专利 :CN108660420A ,2018-10-16

[5]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

邹清华 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11

[6]

一种线性蒸发源及真空蒸镀装置 [P].

李浩永 ;

金薰 ;

丁熙荣 ;

金甲锡 .

中国专利 :CN109234682A ,2019-01-18

[7]

真空蒸镀用蒸发源，真空蒸镀装置及方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN107267924A ,2017-10-20

[8]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051564A ,2020-04-21

[9]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21

[10]

真空蒸镀装置用蒸发源及具备该蒸发源的真空蒸镀装置 [P].

深尾万里 ;

关根元气 .

日本专利 :CN118407003A ,2024-07-30

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