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一种线性蒸发源及真空蒸镀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710558037.X
申请日：
2017-07-10
公开(公告)号：
CN109234682A
公开(公告)日：
2019-01-18
发明(设计)人：
李浩永
金薰
丁熙荣
金甲锡
申请人：
申请人地址：
230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1412
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-27 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20190118 |
| 2019-02-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170710 |
| 2019-01-18 | 公开 | 公开 |