一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411513819.8

申请日：

2024-10-29

公开(公告)号：

CN119040811B

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

杨一新

申请人：

季华实验室

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/12 H10K71/16

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

王永文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20241029
2024-11-29	公开	公开
2025-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN119040811A ,2024-11-29

[2]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[3]

一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

张金中 .

中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10

[4]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[5]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

[6]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[7]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

[8]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

峰川英明 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

福田浩 ;

三宅龙也 .

中国专利 :CN102676999A ,2012-09-19

[9]

一种线性蒸发源及蒸镀装置 [P].

贾晓晨 ;

雷东 ;

刘乐 ;

张超 ;

范超龙 .

中国专利 :CN108265267B ,2018-07-10

[10]

一种多蒸发源间隔蒸镀装置及镀膜方法 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN118064842A ,2024-05-24

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