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一种线性蒸发源及蒸镀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810253706.7
申请日：
2018-03-26
公开(公告)号：
CN108265267B
公开(公告)日：
2018-07-10
发明(设计)人：
贾晓晨
雷东
刘乐
张超
范超龙
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
郭润湘
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-10 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-21 | 授权 | 授权 |
| 2018-08-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180326 |