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电子束调整装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN86201112.4
申请日：
1986-02-28
公开(公告)号：
CN86201112U
公开(公告)日：
1987-05-27
发明(设计)人：
平井正俊
西田茂雄
岛津喜久雄
申请人：
申请人地址：
日本大阪市北区中之岛三丁目2番4号
IPC主分类号：
H01J2946
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理有限公司
代理人：
曹永来
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1987-05-26 | 公开 | 公开 |
| 1991-05-07 | 专利权有效期的续展 | 专利权有效期的续展 |
| 1987-12-09 | 授权 | 授权 |
| 1994-06-01 | 专利权的终止专利权有效期届满 | 专利权的终止专利权有效期届满 |