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电子束描绘装置以及电子束描绘方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280021402.2
申请日：
2022-09-14
公开(公告)号：
CN118043943A
公开(公告)日：
2024-05-14
发明(设计)人：
野村春之
森田博文
申请人：
纽富来科技股份有限公司
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
H01J37/305
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
刘杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20220914 |
| 2024-05-14 | 公开 | 公开 |