电子束描绘设备及其台架机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780052364.2

申请日：

2007-03-28

公开(公告)号：

CN101641742B

公开(公告)日：

2010-02-03

发明(设计)人：

北原弘昭

申请人：

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

G11B726

IPC分类号：

B23K1500 B23Q148

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐冰冰;黄剑锋

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101673862301 IPC(主分类):G11B 7/26 专利号:ZL2007800523642 变更事项:专利权人变更前:纽富来科技股份有限公司变更后:纽富来科技股份有限公司变更事项:地址变更前:日本静冈县变更后:日本神奈川县
2022-03-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/26 申请日:20070328 授权公告日:20120905 终止日期:20210328
2012-09-05	授权	授权
2010-02-03	公开	公开
2012-05-09	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101346126138 IPC(主分类):G11B 7/26 专利申请号:2007800523642 变更事项:申请人变更前权利人:先锋株式会社变更后权利人:纽富来科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本静冈县登记生效日:20120328
2010-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

电子束描绘装置和电子束描绘方法 [P].

东矢高尚 .

中国专利 :CN101546134B ,2009-09-30

[2]

电子束描绘装置及电子束描绘方法 [P].

东矢高尚 ;

中山贵仁 .

中国专利 :CN103257528A ,2013-08-21

[3]

电子束描绘装置和电子束描绘方法 [P].

早田康成 ;

上村理 ;

中山义则 ;

谷本明佳 ;

村木真人 .

中国专利 :CN1606129A ,2005-04-13

[4]

电子束描绘装置以及电子束描绘方法 [P].

东矢高尚 ;

中山贵仁 .

中国专利 :CN103257529A ,2013-08-21

[5]

电子束描绘装置以及电子束描绘方法 [P].

野村春之 ;

森田博文 .

日本专利 :CN118043943A ,2024-05-14

[6]

电子束描绘装置 [P].

小岛良明 .

中国专利 :CN1934503A ,2007-03-21

[7]

多电子束描绘装置以及多电子束描绘方法 [P].

岩崎光太 ;

山田拓 .

日本专利 :CN114078678B ,2024-09-20

[8]

多电子束描绘装置以及多电子束描绘方法 [P].

岩崎光太 ;

山田拓 .

中国专利 :CN114078678A ,2022-02-22

[9]

电子束检查设备的台架定位 [P].

M·K·M·巴格根 ;

A·H·阿伦茨 ;

L·库因德尔斯玛 ;

J·H·A·范德里杰特 ;

P·P·亨佩尼尤斯 ;

R·J·T·范肯彭 ;

N·J·M·博世 ;

H·M·J·范德格罗伊斯 ;

曾国峰 ;

H·巴特勒 ;

M·J·C·龙德 .

中国专利 :CN111052296A ,2020-04-21

[10]

电子束描绘方法、用该电子束描绘方法制作的磁记录媒体及其制造方法 [P].

冲野刚史 ;

樱井正敏 .

中国专利 :CN101114131A ,2008-01-30

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