用激光束切割非金属衬底的方法和装置

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专利类型
发明
申请号
CN01112150.5
申请日
2001-03-30
公开(公告)号
CN1196562C
公开(公告)日
2002-05-22
发明(设计)人
南亨佑 秋大镐 全栢均
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
B23K2638
IPC分类号
H01L21304
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
马高平
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
利用激光束切割非金属基片的方法及装置 [P]. 
秋大镐 ;
全栢均 ;
南亨佑 .
中国专利 :CN1386606A ,2002-12-25
[2]
切割非金属衬底的方法和装置 [P]. 
全栢均 .
中国专利 :CN1282228C ,2003-08-13
[3]
激光束处理方法和激光束处理装置 [P]. 
重松孝一 ;
大宫直树 ;
吉川敏行 .
中国专利 :CN1577755B ,2005-02-09
[4]
激光束处理方法和激光束处理装置 [P]. 
重松孝一 ;
永井祐介 .
中国专利 :CN1575908A ,2005-02-09
[5]
激光束照射装置以及激光束照射方法 [P]. 
田中幸一郎 .
中国专利 :CN101000863B ,2007-07-18
[6]
激光束聚焦装置和方法 [P]. 
卡尔·维坦博格 ;
辛正 ;
范晓行 .
中国专利 :CN101258441A ,2008-09-03
[7]
反射操控激光束的装置和方法 [P]. 
詹姆斯·B·普林斯 .
中国专利 :CN1713021A ,2005-12-28
[8]
激光束加工系统和激光束加工方法 [P]. 
管原雅之 ;
森俊博 .
中国专利 :CN1127388C ,1996-10-30
[9]
用于激光束加工的模具、激光束加工装置和用于激光束加工的方法 [P]. 
A·格林 ;
M·哈默 ;
F·科贝尔 ;
J·尼凯克 .
中国专利 :CN109311129B ,2019-02-05
[10]
激光切割设备、激光束调制的方法和切割基板的方法 [P]. 
权宁喆 ;
姜东佑 ;
韩万熙 .
中国专利 :CN110655312A ,2020-01-07