共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-01-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2009-12-02 | 公开 | 公开 |
| 2022-06-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20090626 授权公告日:20120104 终止日期:20210626 |
| 2012-01-04 | 授权 | 授权 |