共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN03112137.3
申请日：
2003-04-11
公开(公告)号：
CN1454835A
公开(公告)日：
2003-11-12
发明(设计)人：
徐永青
杨拥军
李海军
申请人：
申请人地址：
050051河北省石家庄市合作路113号38分箱
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
代理机构：
石家庄冀科专利事务所有限公司
代理人：
高锡明
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-04-05 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 2003-11-12 | 公开 | 公开 |