抗蚀剂组合物、其制造方法及包含其的制品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010418705.0

申请日：

2020-05-18

公开(公告)号：

CN112011008A

公开(公告)日：

2020-12-01

发明(设计)人：

J·凯茨侯希森李明琦 T·马兰戈尼 E·阿卡德宋旸

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C08F22018

IPC分类号：

C08F22032 C08F22240 C08F22028 G03F7004

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

钱文宇;陈哲锋

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	公开	公开
2020-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 220/18 申请日:20200518

共 50 条

[1]

聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

吴贞薰 ;

韩俊熙 ;

金兑坤 ;

朱炫相 .

中国专利 :CN102558523A ,2012-07-11

[2]

抗蚀剂剥离液组合物及利用其的抗蚀剂的剥离方法 [P].

高京俊 ;

金圣植 ;

金正铉 ;

李喻珍 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107957661A ,2018-04-24

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 ;

西村崇 .

中国专利 :CN106019833B ,2016-10-12

[4]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 .

日本专利 :CN106019831B ,2024-04-16

[5]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

中西润次 .

中国专利 :CN106019831A ,2016-10-12

[6]

抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法 [P].

崔汉永 ;

高京俊 ;

金正铉 .

中国专利 :CN106468861A ,2017-03-01

[7]

抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法 [P].

崔汉永 ;

高京俊 ;

李喻珍 .

中国专利 :CN106468860A ,2017-03-01

[8]

用于抗蚀剂的聚合物和使用其制造的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

洪容和 ;

李昌洙 .

中国专利 :CN101712737A ,2010-05-26

[9]

厚膜抗蚀剂组合物以及使用其的制造抗蚀剂膜的方法 [P].

铃木理人 ;

柳田浩志 ;

佐尾高步 .

德国专利 :CN117396809A ,2024-01-12

[10]

正型剥离抗蚀剂组合物及使用其来制造抗蚀剂图案的方法 [P].

矢野友嗣 ;

滨祐介 ;

仁川裕 .

德国专利 :CN118696274A ,2024-09-24

← 1 2 3 4 5 →