正型剥离抗蚀剂组合物及使用其来制造抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380021809.X

申请日：

2023-02-15

公开(公告)号：

CN118696274A

公开(公告)日：

2024-09-24

发明(设计)人：

矢野友嗣滨祐介仁川裕

申请人：

默克专利有限公司

申请人地址：

德国达姆施塔特

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/039 G03F7/40

代理机构：

北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216

代理人：

刘卓然

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20230215
2024-09-24	公开	公开

共 50 条

[1]

正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法 [P].

明石一通 ;

浦部慈子 ;

张锐 ;

片山朋英 .

中国专利 :CN113632007A ,2021-11-09

[2]

正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法 [P].

明石一通 ;

浦部慈子 ;

张锐 ;

片山朋英 .

德国专利 :CN113632007B ,2025-10-03

[3]

正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

竹下优 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1813222A ,2006-08-02

[4]

抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法 [P].

崔汉永 ;

高京俊 ;

金正铉 .

中国专利 :CN106468861A ,2017-03-01

[5]

抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法 [P].

崔汉永 ;

高京俊 ;

李喻珍 .

中国专利 :CN106468860A ,2017-03-01

[6]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[7]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

肥后睦子 .

日本专利 :CN111381439B ,2024-07-19

[8]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案的制造方法 [P].

杉原昌子 ;

肥后睦子 .

中国专利 :CN111381439A ,2020-07-07

[9]

正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法 [P].

大久保和喜 ;

萩原三雄 ;

新田和行 .

中国专利 :CN1916763A ,2007-02-21

[10]

正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法 [P].

竹下优 .

中国专利 :CN101107567A ,2008-01-16

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