一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111085207.X

申请日：

2021-09-16

公开(公告)号：

CN113690164A

公开(公告)日：

2021-11-23

发明(设计)人：

张舸

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B100 B08B502

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

左晓菲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210916
2021-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN112786478A ,2021-05-11

[2]

晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN112786478B ,2025-02-11

[3]

一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法 [P].

张舸 .

中国专利 :CN113690164B ,2024-04-19

[4]

晶圆背面清洗干燥装置、晶圆背面清洗干燥系统及方法 [P].

舒福璋 ;

史霄 ;

佀海燕 ;

田知玲 ;

陶利权 .

中国专利 :CN108122813A ,2018-06-05

[5]

晶圆清洗干燥装置 [P].

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN105470177A ,2016-04-06

[6]

晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN210628254U ,2020-05-26

[7]

晶圆清洗、干燥装置及工艺 [P].

耿彪 ;

张伟 ;

耿超 ;

郭生钢 ;

王强 .

中国专利 :CN119275139A ,2025-01-07

[8]

一种晶圆清洗干燥装置 [P].

马玉水 ;

王志广 ;

白如意 ;

王强 ;

孔浩 ;

崔少孟 .

中国专利 :CN117542766B ,2024-03-22

[9]

一种晶圆清洗干燥装置 [P].

万先进 ;

谢亚楠 ;

朱松 ;

熊泰贻 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222813554U ,2025-04-29

[10]

一种晶圆清洗干燥装置 [P].

王祖传 ;

陈兴红 ;

卢瑾 ;

高媛 ;

陈强 .

中国专利 :CN209312731U ,2019-08-27

← 1 2 3 4 5 →