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晶圆清洗、干燥装置及工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411794050.1
申请日：
2024-12-09
公开(公告)号：
CN119275139A
公开(公告)日：
2025-01-07
发明(设计)人：
耿彪
张伟
耿超
郭生钢
王强
申请人：
北京华林嘉业科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京市北京经济技术开发区科创十三街18号院30号楼1层101室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/677
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
王洋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241209 |
| 2025-01-07 | 公开 | 公开 |