晶圆背面清洗干燥装置、晶圆背面清洗干燥系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711347994.4

申请日：

2017-12-14

公开(公告)号：

CN108122813A

公开(公告)日：

2018-06-05

发明(设计)人：

舒福璋史霄佀海燕田知玲陶利权

申请人：

申请人地址：

100000 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

杨明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-05	公开	公开
2022-01-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20180605
2018-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20171214

共 50 条

[1]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[2]

晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN112786478A ,2021-05-11

[3]

晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN112786478B ,2025-02-11

[4]

晶圆背面清洗装置及清洗方法 [P].

王坚 ;

赵宇 ;

吴均 ;

陈福发 ;

王晖 .

中国专利 :CN103506339A ,2014-01-15

[5]

一种晶圆背面边缘区清洗设备及晶圆背面清洗方法 [P].

黄玉辉 .

中国专利 :CN111430262A ,2020-07-17

[6]

一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法 [P].

张舸 .

中国专利 :CN113690164A ,2021-11-23

[7]

一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法 [P].

张舸 .

中国专利 :CN113690164B ,2024-04-19

[8]

晶圆清洗干燥装置 [P].

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN105470177A ,2016-04-06

[9]

晶圆清洗干燥装置 [P].

黄立佐 ;

张修凯 ;

许明哲 .

中国专利 :CN210628254U ,2020-05-26

[10]

晶圆清洗、干燥装置及工艺 [P].

耿彪 ;

张伟 ;

耿超 ;

郭生钢 ;

王强 .

中国专利 :CN119275139A ,2025-01-07

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