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晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911087594.3
申请日：
2019-11-08
公开(公告)号：
CN112786478B
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
黄立佐 张修凯 许明哲
申请人：
弘塑科技股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹市香山区中华路六段89号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-11 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆清洗干燥方法及晶圆清洗干燥装置 [P]. 
黄立佐 ;
张修凯 ;
许明哲 .
中国专利 :CN112786478A ,2021-05-11
[2]
晶圆清洗干燥装置 [P]. 
黄立佐 ;
张修凯 ;
许明哲 .
中国专利 :CN210628254U ,2020-05-26
[3]
一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法 [P]. 
张舸 .
中国专利 :CN113690164A ,2021-11-23
[4]
晶圆背面清洗干燥装置、晶圆背面清洗干燥系统及方法 [P]. 
舒福璋 ;
史霄 ;
佀海燕 ;
田知玲 ;
陶利权 .
中国专利 :CN108122813A ,2018-06-05
[5]
一种晶圆清洗干燥装置及晶圆清洗干燥方法 [P]. 
张舸 .
中国专利 :CN113690164B ,2024-04-19
[6]
晶圆清洗干燥装置 [P]. 
许振杰 ;
王同庆 ;
李昆 ;
路新春 .
中国专利 :CN105470177A ,2016-04-06
[7]
晶圆清洗及干燥方法 [P]. 
唐强 ;
刘永进 .
中国专利 :CN120319658A ,2025-07-15
[8]
晶圆清洗、干燥装置及工艺 [P]. 
耿彪 ;
张伟 ;
耿超 ;
郭生钢 ;
王强 .
中国专利 :CN119275139A ,2025-01-07
[9]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
汪子文 ;
张利 ;
李名浩 ;
魏星 ;
李炜 .
中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05
[10]
晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P]. 
陈亚威 ;
简志宏 .
中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05
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