半导体处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220317707.1

申请日：

2012-06-29

公开(公告)号：

CN202678292U

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

梁秉文

申请人：

申请人地址：

314300 浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

王宏婧

法律状态：

专利权的保全及其解除

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-03	专利权的保全及其解除	专利权的保全号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101707998400 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2012203177071 申请日:20120629 授权公告日:20130116 登记生效日:20141029 解除日:无
2016-05-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101661878791 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2012203177071 申请日:20120629 授权公告日:20130116 终止日期:20140629
2013-01-16	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体处理设备 [P].

奚明 ;

吴红星 ;

胡兵 ;

黄占超 ;

马悦 .

中国专利 :CN106032573B ,2016-10-19

[2]

半导体废气处理设备 [P].

张昱翀 ;

石天宇 .

中国专利 :CN221015344U ,2024-05-28

[3]

半导体处理设备及半导体处理方法 [P].

张丝柳 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN110491805A ,2019-11-22

[4]

半导体处理设备 [P].

温子瑛 ;

王博洋 ;

孙富成 ;

王吉 ;

温欣 ;

樊裕斌 ;

沈爱华 ;

丁维维 .

中国专利 :CN216902814U ,2022-07-05

[5]

半导体处理设备 [P].

张舒扬 ;

J·L·温科 ;

A·金蒂 ;

E·J·希罗 ;

M·克瓦特拉 ;

D·南德瓦纳 ;

T·R·邓恩 ;

C·L·怀特 .

:CN221720921U ,2024-09-17

[6]

半导体处理设备 [P].

李国强 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 .

中国专利 :CN208444815U ,2019-01-29

[7]

半导体处理设备 [P].

李天涯 ;

周冬成 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208753275U ,2019-04-16

[8]

半导体处理设备 [P].

王昕昀 ;

吴孝哲 ;

胡广严 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208853380U ,2019-05-14

[9]

半导体处理设备 [P].

闫宝杰 ;

王玉明 ;

陈晖 ;

曾俞衡 ;

廖明墩 ;

叶继春 ;

程海良 ;

柯贤洋 .

中国专利 :CN212365921U ,2021-01-15

[10]

半导体处理设备 [P].

李国强 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 .

中国专利 :CN208674079U ,2019-03-29

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