一种大口径柔性光学超构表面结构的加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011507346.2

申请日：

2020-12-18

公开(公告)号：

CN112558419A

公开(公告)日：

2021-03-26

发明(设计)人：

罗先刚蒲明博高平李雄马晓亮

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

杨学明

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-26	公开	公开
2021-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20201218

共 50 条

[1]

一种超大口径超构表面透镜光刻图形的加工方法及系统 [P].

黄晟 ;

黄立 ;

蔡佳雨 ;

汪超 ;

蒋文杰 ;

方明 .

中国专利 :CN118466133A ,2024-08-09

[2]

一种大口径光学元件表面溶胶凝胶增透膜无损去除方法 [P].

李玉海 ;

李佳 ;

蒋一岚 ;

王方 ;

孙来喜 ;

袁晓东 ;

袁强 .

中国专利 :CN118011531A ,2024-05-10

[3]

一种应用于大口径光学超构表面的高精度位置误差补偿校正装置 [P].

罗先刚 ;

马晓亮 ;

李雄 ;

蒲明博 ;

高平 .

中国专利 :CN111458865A ,2020-07-28

[4]

一种大口径光学元件表面吸收型缺陷分布快速成像的方法 [P].

李斌成 ;

孙启明 ;

樊俊琪 .

中国专利 :CN109444166B ,2019-03-08

[5]

一种光学超构表面、制备方法及加工装置 [P].

刘言军 ;

殷震 ;

罗丹 ;

李贵新 .

中国专利 :CN111366991A ,2020-07-03

[6]

一种柔性超表面、基于柔性超表面的动态全息复用方法 [P].

郑国兴 ;

黄志伟 ;

李子乐 ;

陈晶 ;

曾永全 .

中国专利 :CN120295075A ,2025-07-11

[7]

一种基于光刻胶材料的超构表面 [P].

文静 ;

彭嘉 ;

张大伟 ;

吴双宝 .

中国专利 :CN114047566A ,2022-02-15

[8]

一种大口径光束耦合器 [P].

贾大功 ;

许强 ;

张红霞 ;

刘铁根 ;

张以谟 .

中国专利 :CN102681109B ,2012-09-19

[9]

一种基于混合超构表面的低阈值光学双稳态开关 [P].

蔡国雄 ;

王彦 ;

温雨嘉 ;

柳清伙 .

中国专利 :CN116520596B ,2025-11-28

[10]

一种基于纳米压印制备光学超构表面的方法 [P].

程鑫 ;

李贵新 ;

庄鑫 ;

邓俊鸿 .

中国专利 :CN107561857A ,2018-01-09

← 1 2 3 4 5 →