共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种金属掩膜版及掩膜组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111311704.7
申请日：
2021-11-08
公开(公告)号：
CN114015977A
公开(公告)日：
2022-02-08
发明(设计)人：
钱超
张蔡星
李成林
申请人：
申请人地址：
210000 江苏省南京市栖霞区红枫科技园A7-17号门1楼
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人：
董成
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20211108 |
| 2022-02-08 | 公开 | 公开 |