金属掩膜版

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420748162.9

申请日：

2014-12-02

公开(公告)号：

CN204265826U

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

敖伟刘玉成罗志忠刘金强周斯然

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

金属掩膜版 [P].

张志锴 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

夏孝定 ;

叶大成 ;

冯志恒 .

中国专利 :CN121109944A ,2025-12-12

[2]

金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法 [P].

刘月 ;

白珊珊 .

中国专利 :CN113846287A ,2021-12-28

[3]

一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件 [P].

王宝 .

中国专利 :CN208965015U ,2019-06-11

[4]

一种金属掩膜版 [P].

李博 ;

刘鑫 ;

李哲 ;

杨凡 ;

吴义超 .

中国专利 :CN217839098U ,2022-11-18

[5]

一种金属掩膜版 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN208087724U ,2018-11-13

[6]

一种金属掩膜版 [P].

屈博文 .

中国专利 :CN216192651U ,2022-04-05

[7]

子掩膜版及掩膜版 [P].

谢飞 ;

苏胜利 ;

张佳成 ;

周俊吉 .

中国专利 :CN207775334U ,2018-08-28

[8]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14

[9]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14

[10]

一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版 [P].

徐华伟 ;

沈洵 .

中国专利 :CN116180080B ,2025-04-11

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