一种金属掩膜版

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820540295.5

申请日：

2018-04-17

公开(公告)号：

CN208087724U

公开(公告)日：

2018-11-13

发明(设计)人：

曹阿江

申请人：

申请人地址：

313009 浙江省湖州市南浔区双林镇雉头村桥南自然村

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234

代理人：

李大刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-13	授权	授权
2020-04-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20180417 授权公告日:20181113 终止日期:20190417

共 50 条

[1]

一种金属掩膜版组件 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN208087723U ,2018-11-13

[2]

金属掩膜版 [P].

敖伟 ;

刘玉成 ;

罗志忠 ;

刘金强 ;

周斯然 .

中国专利 :CN204265826U ,2015-04-15

[3]

一种金属掩膜版 [P].

李博 ;

刘鑫 ;

李哲 ;

杨凡 ;

吴义超 .

中国专利 :CN217839098U ,2022-11-18

[4]

一种金属掩膜版 [P].

屈博文 .

中国专利 :CN216192651U ,2022-04-05

[5]

一种金属掩膜版 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN108330439A ,2018-07-27

[6]

一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件 [P].

王宝 .

中国专利 :CN208965015U ,2019-06-11

[7]

一种金属掩膜版组件 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN108220877A ,2018-06-29

[8]

金属掩膜版 [P].

张志锴 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

夏孝定 ;

叶大成 ;

冯志恒 .

中国专利 :CN121109944A ,2025-12-12

[9]

一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版 [P].

徐华伟 ;

沈洵 .

中国专利 :CN116180080B ,2025-04-11

[10]

一种金属掩膜版及掩膜组件 [P].

钱超 ;

张蔡星 ;

李成林 .

中国专利 :CN114015977A ,2022-02-08

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