一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211629439.1

申请日：

2022-12-19

公开(公告)号：

CN116180080B

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

徐华伟沈洵

申请人：

浙江众凌科技有限公司

申请人地址：

314200 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

金国栋;孙安程

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省嘉兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法 [P].

刘月 ;

白珊珊 .

中国专利 :CN113846287A ,2021-12-28

[2]

金属掩膜版 [P].

敖伟 ;

刘玉成 ;

罗志忠 ;

刘金强 ;

周斯然 .

中国专利 :CN204265826U ,2015-04-15

[3]

金属掩膜版 [P].

张志锴 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

夏孝定 ;

叶大成 ;

冯志恒 .

中国专利 :CN121109944A ,2025-12-12

[4]

一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN118048607A ,2024-05-17

[5]

一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN118048607B ,2025-10-17

[6]

一种金属掩膜版及掩膜组件 [P].

钱超 ;

张蔡星 ;

李成林 .

中国专利 :CN114015977A ,2022-02-08

[7]

一种金属掩膜版及掩膜组件 [P].

钱超 ;

张蔡星 ;

李成林 .

中国专利 :CN114015977B ,2024-07-09

[8]

一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件及掩膜版制作方法 [P].

王宝 .

中国专利 :CN109735802A ,2019-05-10

[9]

一种金属掩膜、金属掩膜版及其制造方法 [P].

张健 ;

黄俊杰 ;

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN108411254A ,2018-08-17

[10]

一种通用金属掩膜版焊接方法及制作的通用金属掩膜版 [P].

潘燕萍 .

中国专利 :CN113618244A ,2021-11-09

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