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金属掩膜版

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511613662.0
申请日：
2025-11-06
公开(公告)号：
CN121109944A
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
张志锴 徐华伟 龚月良 夏孝定 叶大成 冯志恒
申请人：
浙江众凌科技有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室
IPC主分类号：
C23C14/04
IPC分类号：
C23C14/24 H10K71/16
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
邱小波
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省 嘉兴市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-12 公开 公开
2025-12-30 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/04申请日:20251106
共 50 条
[1]
金属掩膜版 [P]. 
敖伟 ;
刘玉成 ;
罗志忠 ;
刘金强 ;
周斯然 .
中国专利 :CN204265826U ,2015-04-15
[2]
金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法 [P]. 
刘月 ;
白珊珊 .
中国专利 :CN113846287A ,2021-12-28
[3]
一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版 [P]. 
徐华伟 ;
沈洵 .
中国专利 :CN116180080B ,2025-04-11
[4]
一种金属掩膜版及掩膜组件 [P]. 
钱超 ;
张蔡星 ;
李成林 .
中国专利 :CN114015977A ,2022-02-08
[5]
一种金属掩膜版及掩膜组件 [P]. 
钱超 ;
张蔡星 ;
李成林 .
中国专利 :CN114015977B ,2024-07-09
[6]
一种金属掩膜、金属掩膜版及其制造方法 [P]. 
张健 ;
黄俊杰 ;
林治明 ;
王震 .
中国专利 :CN108411254A ,2018-08-17
[7]
一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P]. 
王广成 ;
甘帅燕 .
中国专利 :CN118048607A ,2024-05-17
[8]
一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P]. 
王广成 ;
甘帅燕 .
中国专利 :CN118048607B ,2025-10-17
[9]
一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件 [P]. 
王宝 .
中国专利 :CN208965015U ,2019-06-11
[10]
一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件及掩膜版制作方法 [P]. 
王宝 .
中国专利 :CN109735802A ,2019-05-10
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