一种金属掩膜版

被引：0

申请号：

CN202221296574.4

申请日：

2022-05-27

公开(公告)号：

CN217839098U

公开(公告)日：

2022-11-18

发明(设计)人：

李博刘鑫李哲杨凡吴义超

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区康强一路1188号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 H01L5156

代理机构：

成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276

代理人：

游诚华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

金属掩膜版 [P].

敖伟 ;

刘玉成 ;

罗志忠 ;

刘金强 ;

周斯然 .

中国专利 :CN204265826U ,2015-04-15

[2]

一种金属掩膜版 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN208087724U ,2018-11-13

[3]

一种金属掩膜版 [P].

屈博文 .

中国专利 :CN216192651U ,2022-04-05

[4]

一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件 [P].

王宝 .

中国专利 :CN208965015U ,2019-06-11

[5]

一种金属掩膜版组件 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN208087723U ,2018-11-13

[6]

金属掩膜版 [P].

张志锴 ;

徐华伟 ;

龚月良 ;

夏孝定 ;

叶大成 ;

冯志恒 .

中国专利 :CN121109944A ,2025-12-12

[7]

一种金属掩膜版 [P].

曹阿江 .

中国专利 :CN108330439A ,2018-07-27

[8]

一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版 [P].

徐华伟 ;

沈洵 .

中国专利 :CN116180080B ,2025-04-11

[9]

一种金属掩膜版及掩膜组件 [P].

钱超 ;

张蔡星 ;

李成林 .

中国专利 :CN114015977A ,2022-02-08

[10]

一种金属掩膜版及掩膜组件 [P].

钱超 ;

张蔡星 ;

李成林 .

中国专利 :CN114015977B ,2024-07-09

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