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快速热处理设备的测温装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320434744.5
申请日：
2013-07-19
公开(公告)号：
CN203456424U
公开(公告)日：
2014-02-26
发明(设计)人：
孙建军
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
G01K1100
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
殷晓雪
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-09-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101678549570 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2013204347445 申请日:20130719 授权公告日:20140226 终止日期:20150719 |
| 2014-02-26 | 授权 | 授权 |