一种适用于各种尺寸硅片的干花篮装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202022162878.9
申请日
2020-09-27
公开(公告)号
CN213150740U
公开(公告)日
2021-05-07
发明(设计)人
邵家骏 吴慧敏 张小明 陈刚
申请人
申请人地址
322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
代理机构
金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307
代理人
陈迪
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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