用于处理基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711044543.3

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN108022860B

公开(公告)日：

2018-05-11

发明(设计)人：

郑煐宪朴昶昱

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

石宝忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-11	公开	公开
2022-05-03	授权	授权
2018-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20171031

共 50 条

[1]

基板处理装置和基板处理装置的基板检测方法 [P].

久留巣健人 ;

森公平 .

中国专利 :CN105047585B ,2015-11-11

[2]

用于处理基板的装置和方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

朴君昊 ;

赵台勋 ;

桑特·阿雷克赖恩 .

中国专利 :CN112151348A ,2020-12-29

[3]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

中国专利 :CN112185792A ,2021-01-05

[4]

用于处理基板的装置和方法 [P].

郑煐宪 ;

闵忠基 ;

曺守铉 .

中国专利 :CN107546153B ,2018-01-05

[5]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金大炫 .

韩国专利 :CN112185792B ,2024-07-02

[6]

用于处理基板的装置和方法 [P].

崔镇雨 ;

吴承俊 ;

南镇祐 ;

李章熙 ;

朴永鹤 ;

徐安娜 .

韩国专利 :CN114695059B ,2025-10-14

[7]

用于处理基板的装置和方法 [P].

崔峻荣 ;

朴贵秀 ;

张瑛珍 ;

李恩姃 ;

林俊铉 .

韩国专利 :CN118263148A ,2024-06-28

[8]

用于处理基板的装置和方法 [P].

金荣河 ;

崔势定 ;

李康奭 ;

郭基荣 ;

朴廷恩 ;

朴贞英 .

中国专利 :CN107564837A ,2018-01-09

[9]

用于处理基板的装置和方法 [P].

李成龙 ;

徐同赫 .

中国专利 :CN111508867A ,2020-08-07

[10]

用于处理基板的装置和方法 [P].

姜虎信 ;

姜栋然 ;

吴斗荣 .

韩国专利 :CN110581089B ,2024-02-27

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