共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于处理基板的装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310781111.X
申请日：
2023-06-28
公开(公告)号：
CN118263148A
公开(公告)日：
2024-06-28
发明(设计)人：
崔峻荣
朴贵秀
张瑛珍
李恩姃
林俊铉
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
H01L21/687
B08B3/08
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
张瑾
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230628 |
| 2024-06-28 | 公开 | 公开 |