用于处理基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710495929.X

申请日：

2017-06-26

公开(公告)号：

CN107546153B

公开(公告)日：

2018-01-05

发明(设计)人：

郑煐宪闵忠基曺守铉

申请人：

申请人地址：

韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

赵丹;赵莎

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-05	公开	公开
2020-12-22	授权	授权
2018-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170626

共 50 条

[1]

用于处理基板的装置和用于处理基板的方法 [P].

金周援 ;

徐准浩 ;

朴崠云 ;

尹相弼 .

韩国专利 :CN114695193B ,2025-11-14

[2]

用于处理基板的装置和用于处理基板的方法 [P].

金周援 ;

徐准浩 ;

朴崠云 ;

尹相弼 .

中国专利 :CN114695193A ,2022-07-01

[3]

用于处理基板的装置和方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

朴君昊 ;

赵台勋 ;

桑特·阿雷克赖恩 .

中国专利 :CN112151348A ,2020-12-29

[4]

用于处理基板的装置和方法 [P].

崔峻荣 ;

朴贵秀 ;

张瑛珍 ;

李恩姃 ;

林俊铉 .

韩国专利 :CN118263148A ,2024-06-28

[5]

用于处理基板的装置和方法 [P].

李成龙 ;

徐同赫 .

中国专利 :CN111508867A ,2020-08-07

[6]

用于处理基板的装置和方法 [P].

李成龙 ;

徐同赫 ;

韩相福 ;

李太燮 .

中国专利 :CN111383960A ,2020-07-07

[7]

用于处理基板的装置和方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

朴君昊 ;

赵台勋 ;

桑特·阿雷克赖恩 .

韩国专利 :CN112151348B ,2024-08-30

[8]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

李映一 ;

崔重奉 ;

李昇浩 ;

朴贵秀 ;

宋吉勋 ;

吴承勋 ;

金钟翰 .

中国专利 :CN109659256A ,2019-04-19

[9]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

李映一 ;

崔重奉 ;

李昇浩 ;

朴贵秀 ;

宋吉勋 ;

吴承勋 ;

金钟翰 .

中国专利 :CN111816592A ,2020-10-23

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

桥本光治 ;

长田直之 .

中国专利 :CN108630573B ,2018-10-09

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