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气化器、液体材料气化装置和气化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980049167.8
申请日：
2019-08-01
公开(公告)号：
CN112469498A
公开(公告)日：
2021-03-09
发明(设计)人：
西川一朗
宫本英显
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
B01J702
IPC分类号：
C23C16448
H01L21205
H01L2131
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
鹿屹;李雪春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B01J 7/02 申请日:20190801 |