共 50 条
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液体材料气化装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611127279.5
申请日：
2016-12-09
公开(公告)号：
CN106906452B
公开(公告)日：
2017-06-30
发明(设计)人：
伊东丈智
井上正规
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
C23C16448
IPC分类号：
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
鹿屹;李雪春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-30 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-04 | 授权 | 授权 |
| 2018-11-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20161209 |