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液体材料气化装置以及液体材料气化方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380070371.4
申请日：
2023-10-02
公开(公告)号：
CN119895075A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
西胁圭亮
申请人：
株式会社堀场STEC
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
C23C16/448
IPC分类号：
B01J7/00 B05B7/04 H01L21/31
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
崔迎宾;鹿屹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/448申请日:20231002
2025-04-25 公开 公开
共 50 条
[1]
液体材料气化装置 [P]. 
伊东丈智 ;
井上正规 .
中国专利 :CN106906452B ,2017-06-30
[2]
液体材料气化装置 [P]. 
西川一朗 ;
河野武志 .
中国专利 :CN102912319B ,2013-02-06
[3]
液体材料气化装置 [P]. 
西川一朗 ;
河野武志 .
中国专利 :CN105256288A ,2016-01-20
[4]
液体材料气化装置 [P]. 
西川一朗 ;
河野武志 .
中国专利 :CN101410548A ,2009-04-15
[5]
气化器、液体材料气化装置和气化方法 [P]. 
西川一朗 ;
宫本英显 .
中国专利 :CN112469498A ,2021-03-09
[6]
液体材料气化装置、液体材料气化系统 [P]. 
金丸隆史 ;
渡边贵央 ;
河角一甫 .
日本专利 :CN120604329A ,2025-09-05
[7]
液体材料气化装置 [P]. 
宫本英显 ;
西川一朗 .
中国专利 :CN101903561B ,2010-12-01
[8]
液体材料气化装置 [P]. 
长野忠幸 ;
渡边贵央 .
中国专利 :CN112899651A ,2021-06-04
[9]
液体材料气化装置 [P]. 
西川一朗 ;
河野武志 .
中国专利 :CN101523572B ,2009-09-02
[10]
气化器和液体材料气化装置 [P]. 
西脇圭亮 .
日本专利 :CN118217644A ,2024-06-21
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