液体材料气化装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210352861.7

申请日：

2007-04-04

公开(公告)号：

CN102912319B

公开(公告)日：

2013-02-06

发明(设计)人：

西川一朗河野武志

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

上海市华诚律师事务所 31210

代理人：

杨暄

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-10	授权	授权
2013-02-06	公开	公开
2013-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101413720659 IPC(主分类):C23C 16/448 专利申请号:2012103528617 申请日:20070404

共 50 条

[1]

液体材料气化装置 [P].

伊东丈智 ;

井上正规 .

中国专利 :CN106906452B ,2017-06-30

[2]

液体材料气化装置 [P].

西川一朗 ;

河野武志 .

中国专利 :CN105256288A ,2016-01-20

[3]

液体材料气化装置 [P].

西川一朗 ;

河野武志 .

中国专利 :CN101410548A ,2009-04-15

[4]

液体材料气化装置以及液体材料气化方法 [P].

西胁圭亮 .

日本专利 :CN119895075A ,2025-04-25

[5]

液体材料气化装置 [P].

宫本英显 ;

西川一朗 .

中国专利 :CN101903561B ,2010-12-01

[6]

气化器、液体材料气化装置和气化方法 [P].

西川一朗 ;

宫本英显 .

中国专利 :CN112469498A ,2021-03-09

[7]

液体材料气化装置、液体材料气化系统 [P].

金丸隆史 ;

渡边贵央 ;

河角一甫 .

日本专利 :CN120604329A ,2025-09-05

[8]

液体材料气化装置 [P].

长野忠幸 ;

渡边贵央 .

中国专利 :CN112899651A ,2021-06-04

[9]

液体材料气化装置 [P].

西川一朗 ;

河野武志 .

中国专利 :CN101523572B ,2009-09-02

[10]

气化器和液体材料气化装置 [P].

西脇圭亮 .

日本专利 :CN118217644A ,2024-06-21

← 1 2 3 4 5 →