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一种MOS芯片生产用测试装置
被引：0
申请号：
CN202210559799.2
申请日：
2022-05-23
公开(公告)号：
CN114937617A
公开(公告)日：
2022-08-23
发明(设计)人：
黄昌民
张志奇
何飞
黄国荣
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新华路8号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297
代理人：
侯风波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20220523 |
| 2022-08-23 | 公开 | 公开 |