一种硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620933605.0

申请日：

2016-08-24

公开(公告)号：

CN206040609U

公开(公告)日：

2017-03-22

发明(设计)人：

姚庆伟王丰友潘煜晟

申请人：

申请人地址：

214174 江苏省无锡市惠山区堰桥镇堰丰路168号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;徐鹏飞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	授权	授权
2022-08-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20160824 授权公告日:20170322 终止日期:20210824

共 50 条

[1]

一种硅片传送装置 [P].

姚庆伟 ;

王丰友 ;

潘煜晟 .

中国专利 :CN106128991A ,2016-11-16

[2]

硅片自动传送装置 [P].

顾韻 ;

吴艽 .

中国专利 :CN215896340U ,2022-02-22

[3]

一种电池硅片传送装置 [P].

聂文杰 ;

江华鹏 ;

李跃平 .

中国专利 :CN208985971U ,2019-06-14

[4]

一种全自动硅片插片机的硅片传送装置 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN203932030U ,2014-11-05

[5]

一种硅片传送装置 [P].

卢高辉 ;

程帅 ;

危明安 ;

刘沛庆 .

中国专利 :CN222637246U ,2025-03-18

[6]

一种硅片传送装置 [P].

周宏业 ;

高森 ;

王洋 ;

吴必康 ;

黄晓林 .

中国专利 :CN223450869U ,2025-10-17

[7]

一种硅片传送装置 [P].

胡益鹏 ;

侯保国 ;

缪国强 ;

何悦 ;

韩基成 .

中国专利 :CN202423246U ,2012-09-05

[8]

一种硅片传送装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

刘影 ;

蒋俊海 ;

刘学辉 ;

赵力行 .

中国专利 :CN203103273U ,2013-07-31

[9]

一种传送装置 [P].

刘晓静 ;

周景光 .

中国专利 :CN217755411U ,2022-11-08

[10]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

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