一种硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422727493.0

申请日：

2024-11-08

公开(公告)号：

CN223450869U

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

周宏业高森王洋吴必康黄晓林

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/677 B65G47/244 B65G49/07

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

刘方超

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片传送装置及方法 [P].

周宏业 ;

高森 ;

王洋 ;

吴必康 ;

黄晓林 .

中国专利 :CN119208234A ,2024-12-27

[2]

一种硅片传送装置 [P].

姚庆伟 ;

王丰友 ;

潘煜晟 .

中国专利 :CN206040609U ,2017-03-22

[3]

一种硅片传送装置 [P].

卢高辉 ;

程帅 ;

危明安 ;

刘沛庆 .

中国专利 :CN222637246U ,2025-03-18

[4]

一种硅片传送装置 [P].

胡益鹏 ;

侯保国 ;

缪国强 ;

何悦 ;

韩基成 .

中国专利 :CN202423246U ,2012-09-05

[5]

一种硅片传送装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

刘影 ;

蒋俊海 ;

刘学辉 ;

赵力行 .

中国专利 :CN203103273U ,2013-07-31

[6]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

[7]

一种电池硅片传送装置 [P].

聂文杰 ;

江华鹏 ;

李跃平 .

中国专利 :CN208985971U ,2019-06-14

[8]

硅片吸附装置、硅片传送装置、硅片传输系统及传送方法 [P].

王刚 ;

张荣军 ;

姜晓玉 ;

施益超 ;

刘凯 ;

陈俊朋 .

中国专利 :CN108666251A ,2018-10-16

[9]

能够传送翘曲硅片的硅片传送装置 [P].

乔俊 ;

陈巍 ;

吴长明 .

中国专利 :CN202662582U ,2013-01-09

[10]

一种硅片烘干炉的硅片传送装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN212512328U ,2021-02-09

← 1 2 3 4 5 →