一种硅片传送装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220044391.3

申请日：

2012-02-10

公开(公告)号：

CN202423246U

公开(公告)日：

2012-09-05

发明(设计)人：

胡益鹏侯保国缪国强何悦韩基成

申请人：

申请人地址：

201112 上海市闵行区浦江镇立跃路1888号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司 11225

代理人：

黄威;郭迎侠

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20120210 授权公告日:20120905 终止日期:20170210
2012-09-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片传送装置 [P].

姚庆伟 ;

王丰友 ;

潘煜晟 .

中国专利 :CN206040609U ,2017-03-22

[2]

一种硅片传送装置 [P].

卢高辉 ;

程帅 ;

危明安 ;

刘沛庆 .

中国专利 :CN222637246U ,2025-03-18

[3]

一种硅片传送装置 [P].

周宏业 ;

高森 ;

王洋 ;

吴必康 ;

黄晓林 .

中国专利 :CN223450869U ,2025-10-17

[4]

一种硅片传送装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

刘影 ;

蒋俊海 ;

刘学辉 ;

赵力行 .

中国专利 :CN203103273U ,2013-07-31

[5]

硅片传送装置 [P].

倪晋涛 ;

郭庆红 ;

袁为进 ;

王言强 ;

张怡帆 .

中国专利 :CN222051720U ,2024-11-22

[6]

一种电池硅片传送装置 [P].

聂文杰 ;

江华鹏 ;

李跃平 .

中国专利 :CN208985971U ,2019-06-14

[7]

能够传送翘曲硅片的硅片传送装置 [P].

乔俊 ;

陈巍 ;

吴长明 .

中国专利 :CN202662582U ,2013-01-09

[8]

一种硅片烘干炉的硅片传送装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN212512328U ,2021-02-09

[9]

一种硅片烘干炉用硅片传送装置 [P].

张明声 .

中国专利 :CN221099269U ,2024-06-07

[10]

一种硅片制绒传送装置 [P].

朱东 .

中国专利 :CN204204821U ,2015-03-11

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