一种半导体圆晶清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020290423.2

申请日：

2020-03-10

公开(公告)号：

CN212093424U

公开(公告)日：

2020-12-08

发明(设计)人：

钟宇航卢玲儿袁红春刘子义陈慧妍

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区临港新城沪城环路999号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293

代理人：

韩松;吴瑾瑜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体圆晶清洗装置 [P].

曹孙根 .

中国专利 :CN208240627U ,2018-12-14

[2]

一种半导体圆晶清洗装置 [P].

张玉光 .

中国专利 :CN215745180U ,2022-02-08

[3]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘安全 ;

王鹤 .

中国专利 :CN207503923U ,2018-06-15

[4]

半导体晶圆清洗装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 .

中国专利 :CN203862609U ,2014-10-08

[5]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

童建 .

中国专利 :CN214254363U ,2021-09-21

[6]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘金章 ;

杨欣泽 .

中国专利 :CN208538807U ,2019-02-22

[7]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

高伦 ;

赵浩然 .

中国专利 :CN210722961U ,2020-06-09

[8]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

杨宝亮 .

中国专利 :CN211678969U ,2020-10-16

[9]

一种半导体圆晶清洗装置 [P].

黄伟华 .

中国专利 :CN112058786A ,2020-12-11

[10]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘山林 .

中国专利 :CN210837668U ,2020-06-23

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