一种半导体圆晶清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820783245.X

申请日：

2018-05-24

公开(公告)号：

CN208240627U

公开(公告)日：

2018-12-14

发明(设计)人：

曹孙根

申请人：

申请人地址：

247000 安徽省池州市经济技术开发区双龙路2号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142

代理人：

钱卫佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

杨宝亮 .

中国专利 :CN211678969U ,2020-10-16

[2]

一种半导体圆晶清洗装置 [P].

钟宇航 ;

卢玲儿 ;

袁红春 ;

刘子义 ;

陈慧妍 .

中国专利 :CN212093424U ,2020-12-08

[3]

一种半导体晶圆用清洗装置 [P].

高中楷 ;

王拓 ;

孙书会 ;

林虹虹 .

中国专利 :CN215988698U ,2022-03-08

[4]

一种半导体晶圆的清洗装置 [P].

陈建华 ;

薛敬伟 ;

王锡胜 ;

胡长文 ;

刘庆贵 .

中国专利 :CN210129491U ,2020-03-06

[5]

半导体晶圆清洗装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 .

中国专利 :CN203862609U ,2014-10-08

[6]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

童建 .

中国专利 :CN214254363U ,2021-09-21

[7]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

马红方 ;

李正亮 ;

张冬林 .

中国专利 :CN216539810U ,2022-05-17

[8]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘金章 ;

杨欣泽 .

中国专利 :CN208538807U ,2019-02-22

[9]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

高伦 ;

赵浩然 .

中国专利 :CN210722961U ,2020-06-09

[10]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

刘山林 .

中国专利 :CN210837668U ,2020-06-23

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