一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020619717.5

申请日：

2020-04-22

公开(公告)号：

CN213925009U

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

余波郑方渊张华冯晓倩

申请人：

申请人地址：

201708 上海市青浦区华新镇华腾路1288号1幢4层I区438室

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟 [P].

赵朋松 ;

殷科平 ;

殷文杰 ;

李吉 ;

胡番 ;

夏利鹏 ;

顾生刚 ;

刘海金 ;

赵本定 ;

杨二存 ;

赵小平 .

中国专利 :CN210420155U ,2020-04-28

[2]

一种用于电池端尺寸规格兼容的石墨舟 [P].

曾石发 .

中国专利 :CN216213307U ,2022-04-05

[3]

一种能兼容不同尺寸幕布的幕布支架 [P].

李增荣 ;

张济虎 .

中国专利 :CN223637879U ,2025-12-05

[4]

一种兼容电池片尺寸的石墨舟 [P].

王东 ;

刘文国 ;

谢代鹏 ;

彭彪 .

中国专利 :CN212874458U ,2021-04-02

[5]

用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片及石墨舟 [P].

徐义兰 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN213660362U ,2021-07-09

[6]

一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片 [P].

余波 ;

郑方渊 ;

张华 ;

冯晓倩 .

中国专利 :CN209357747U ,2019-09-06

[7]

一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟 [P].

杨东 ;

郑应轩 ;

史志平 ;

陈晓 ;

王岚 ;

张忠文 ;

谢毅 .

中国专利 :CN210403679U ,2020-04-24

[8]

一种适合大尺寸硅片的石墨舟片 [P].

杨飞飞 ;

刘东林 ;

张波 ;

李雪方 ;

梁玲 .

中国专利 :CN222008043U ,2024-11-15

[9]

一种能兼容不同规格电缆的接线盒 [P].

胡建兵 ;

李伟程 ;

梁适禹 .

中国专利 :CN221597340U ,2024-08-23

[10]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

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